非接觸3D表面粗糙度輪廓形狀測量機

非接觸3D表面粗糙度輪廓形狀測量機Opt-scope R

非接觸式、高分辨率、大范圍

包括機械加工產品在內的各種工件的三維粗糙度分析

Opt-scope的垂直方向分辨率為0.01 nm，垂直方向測量范圍為20毫米。 具有廣泛用途的非接觸式測量，包括工件表面的細微劃痕、磨損量分析，硬 質合金刀具形狀分析等。

對應ISO25178-2標準

對應 2012 年新規定的三維粗糙度測量標準 ISO25178-2，能分析 Sa、Sz等新標準規定的三維粗糙度參數。

*的白光干涉峰值檢測算法 DEAP*

*的包絡線/相位檢測算法deap，具有大范圍、高分辨率、高 靈敏度的特點。在過去無法對應測量的斜面上，用它可以測量出非常 清晰準確的數據。 *DEAP...包絡線/相位檢測算法

連續測量功能

通過選配件 XY 軸自動調整臺（詳見下一頁）可以連續測量多張畫面，并進行 畫面拼接。

● 連續測量功能 任意位置、任意順序連續測量多個畫面

● 拼接功能 在*定位置使用自動調整臺連續測量。能識別干涉將多張圖形拼接起來，完成 大范圍的測量。拼接完成后的圖形可以和一次測量出來的數據一樣進行分析。

非接觸3D表面粗糙度輪廓形狀測量機Opt-scope R規格

項 目 規 格 型號 Opt-scope R （多透鏡系統） Opt-scope S+ （單透鏡系統） 測量方法 垂直相干掃描干涉法 干涉條紋峰值檢測算法 DEAP算法 光源 白色LED 垂直方向掃描范圍(Z) 20 mm 垂直方向分辨率 0.01 nm Z軸指示精度 ±(0.1 + |H/1000|) μm （H ：測量高度 μm） CCD像數 2048 x 2048 測量范圍 (X/Y) ×10鏡頭時 1.7 x 1.7 mm 水平方向分辨率（X/Y） ×10鏡頭時 1.12 μm X軸指示精度 4 μm以下 Y軸指示精度 4 μm以下 大測量高度 159 mm 200 mm 立柱 Z 電動 工作臺 XY 手動或電動（選配） 傾斜方向 手動 傾斜范圍 ±1° 工作臺外徑 φ 148 mm 工作臺載重 20 kg 掃描速度 1 ～ 12 μm/sec 測量部外觀尺寸 寬 620 mm 深 800 mm 高 1532 mm 本體重量 175 kg 電源 電壓 單相AC100 ／ 110 ±10% (50/60 Hz) 消耗功率 1005 W 885 W 氣源 供給壓力 0.35 － 0.7 MPa 精度保證環境條件 環境溫度 18 ～ 30℃ 溫度變化 ±0.5 ℃ /hour